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On electron heating in a low pressure capacitively coupled oxygen discharge

机译:关于低压电容耦合氧中的电子加热   排出

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摘要

We use the one-dimensional object-oriented particle-in-cell Monte Carlocollision code oopd1 to explore the charged particle densities, theelectronegativity, the electron energy probability function (EEPF), and theelectron heating mechanism in a single frequency capacitively coupled oxygendischarge when the applied voltage amplitude is varied. We explore dischargesoperated at 10 mTorr, where electron heating within the plasma bulk (theelectronegative core) dominates, and at 50 mTorr where sheath heatingdominates. At 10 mTorr the discharge is operated in combined drift-ambipolar(DA) and $\alpha$-mode and at 50 mTorr it is operated in pure $\alpha$-mode. At10 mTorr the effective electron temperature is high and increases withincreased driving voltage amplitude, while at 50 mTorr the effective electrontemperature is much lower, in particular within the electronegative core, whereit is roughly 0.2 - 0.3 eV, and varies only a little with the voltageamplitude.
机译:我们使用一维面向对象的单元格内蒙特卡洛碰撞码oopd1来研究单频电容耦合氧放电时的带电粒子密度,电负性,电子能量概率函数(EEPF)和电子加热机理电压幅度是变化的。我们探索了在10 mTorr处放电的放电,其中等离子体体积(电负性核)内的电子加热占主导,而在50 mTorr处的鞘层加热占主导。在10 mTorr时,放电以漂移双极性(DA)和$ \ alpha $模式组合运行;在50 mTorr时,放电以纯$ \ alpha $模式运行。在10 mTorr时,有效电子温度很高,并且在驱动电压幅度增加时会升高,而在50 mTorr时,有效电子温度要低得多,尤其是在负电芯内,其大约为0.2-0.3 eV,并且随电压幅度的变化很小。

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